華林科納以CDS設備的持續穩定流量的供液,SDS設備精準的配比,順暢的供液,輔助您線上設備,加快您的速率,提高您成品保障,提高您的產能。
華林科納優勢:
如何流量持續穩定?
CDS/SDS設備選擇
供液系統,一般情況下,同種溶液的原液桶為兩個,一備一用。當其中一個桶的液位傳感器檢測到該桶已經無液時,信號會自動使切換閥切換到另一個滿桶繼續工作。
另一種情況,受客戶場地或廠務因素等影響,供液系統與工藝機臺處于不同高度。
操作安全:系統具抗腐蝕性、毒性、耐壓、防燃防爆等功能,保證操作者安全;
兼容性:與化學品接觸部分完全與輸送化學品兼容,對化學品零污染;
流量及揚程:滿足供液過程中的流量和揚程要求,對高濃度化學品(如H2SO4、H3PO4)和具有垂直落差(供液系統與工藝機臺不在同一高度)的動力空間;
自動控制操作運轉:系統單元與機臺界面自動化;
精確配比:系統連續供液(配液,補液)過程中準確可靠,脈動性較好;
取樣分析:便于對系統中管路的粒子、金屬離子等取樣分析;
泄露警報:檢測泄漏及緊急關閉系統(EMO);
根據不同場地需求,不同藥液,選擇設備材質,管路走向,一備一用的原液桶自由切換,同時信號報警,更換原液,保障設備持續運行,提高產能;
泵的選擇:
供液泵作為動力源,常與閥門、管道、流量計等組成自動供液系統,用于配液、補液。
供液泵的選擇,采用CDA作為動力源,選用的材質,需對各種腐蝕性液體、帶顆粒的液體、高粘度、易揮發、易燃的液體均可傳輸;
隔膜泵,風囊泵特點:具有自吸功能,可空轉運行,沒有機械密封,不會產生顆粒及污染,適用于中高黏度的液體,膜片抗腐蝕。
管路的安裝處理
管路采用耐酸堿PFA材質;
規范施工安裝(安裝布局位置均按設計標準)
氣液分離器,保證管路系統中傳輸液體的連續穩定性
如何配比(配液)精確?
根據不同化學品/Slurry 特性選擇不同輔助功能:循環,攪拌,加濕,噴淋,吹掃等;
電子秤的運用:
電子秤精度一般1/3000~1/1000,主要用于相對穩定藥液,對溫度,壓力等要求低,具有不易揮發性;
減少噴淋,吹掃,加濕,攪拌等輔助功能對混合儲罐的連接影響,增強電子秤準確性;
進液管路側向進液,不直沖罐體;
流量計的使用:
保證管路內不存在氣泡,流速均勻,可采用我司特制氣液分離器;
泵的選擇,內膜片穩定運行,氣動穩定;
管路安裝,減少彎頭及水錘現象;
確保管路內沒有藥液殘留
公司歷史悠久
技術支撐
華林科納與蘇州納米研究所合資共建,保障了前沿技術、核心技術、關鍵技術的研究和開發;
研發團隊
華林科納具有高新技術企業資質,核心技術人員來自德國、臺灣、蘇州納米所,均有十五年以上CDS和WETBENCH的研發設計經驗;
2020年,我司對標國外一流廠商,建成千級濕法實驗室,是國內唯一能配合用戶實現DEMO的廠家
華林科納供液系統供應的slurry>40種,chemical>20種,Fab>60,90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB,在最新的14-28nm FAB里,有超過200套的供液系統業績。產品全面對標國際領先產品,獲得國內外頭部客戶的認可。
工藝優勢
針對性強
針對特種化學品液體本身的特點和使用需求進行設計施工,因此具備很強的針對性。
針對性施工與檢測
針對性優化設計
針對性選材與采購
安全性高
化學品管道設備強調安全第一,所有設計和施工符合相關安全標準和規范如:根據根據化學品性質確保設備材料耐腐和抗壓能力。
安全標識明確,定時間檢查空氣質量
工具,設備,消防系統保養
電器電線及設備定時檢修維修
靈活性大
可根據實際施工要求進行調整與規劃。
靈活性施工可以在變化中保證施工進度及質量
靈活性售后,服務相應快24小時On call服務20分鐘內響應客戶服務時間在工作時間,12小時內到達客戶現場,假日期間:18小時內到達。
選擇正確的設備,專業設計團隊,強大的專業制作團隊,完善的售后服務,給您優秀的輔助,帶來質的飛躍。
華林科納(江蘇)半導體設備有限公司(CSE)將繼續為中國半導體行業做出努力和貢獻。
免責聲明:市場有風險,選擇需謹慎!此文僅供參考,不作買賣依據。